SK하이닉스 "누출된 감광액, 유해화학물질 아니다"

[박계현기자] 충청북도 청주 SK하이닉스 공장에서 28일 포토리소그래피 공정에 사용되는 감광액 1리터가 누출되는 사고가 발생했다.

SK하이닉스에 따르면 이날 오후 2시 25분쯤 충북 청주시 청주산업단지 내 SK하이닉스 제3공장에서 광학공정에 사용되는 감광액(PR) 1리터가 누출되는 사고가 일어났다.

회사 측은 "감광액(PR)을 담고 있는 병이 떨어지며 깨져 약 1리터 가량 바닥에 누출됐다"며 "10분만인 오후 2시 35분에 모든 조치를 완료했고, 오후 2시 51분에 소방당국에 신고를 했다"고 설명했다.

SK하이닉스 측은 "제3공장 M11 라인에서 작업 중이던 직원이 1갤론(3.8리터) 단위로 포장돼 있는 감광액 병을 옮기던 도중 바닥에 떨어뜨려 병이 깨지면서 1리터가 유출됐다"며 "감광액을 현장에서 즉시 수거했으며 인명피해는 없었다"고 밝혔다.

이번에 누출된 감광액은 국제통용화학물질번호(CAS 등록번호) 108-15-6번인 물질로 인체에 유독한 물질은 아니지만 위험물 4류 2석유류 등에 해당하는 화재 폭발 위험성이 있는 물질이다. 반도체 공장에선 반도체 제조 시 원판 표면 위에 미세한 회로를 그리기 위해 빛을 이용하는 광학 공정에 사용된다.

환경부 관계자는 "이 물질 자체는 독성이 있다기보다는 화재에 위험성이 있는 물질로 감광액에도 종류가 굉장히 다양하다"며 "CAS 등록번호는 독성, 화재, 폭발위험성을 수치적으로 보고 있는데 0부터 4까지 숫자가 높을수록 위험하다. 이번에 누출된 감광액은 독성은 1, 화재는 2, 폭발위험성은 1로 위험성이 없는 것 같다"고 설명했다.

SK하이닉스 관계자는 "감광액은 유해화학물질관리법으로 봤을 때 유해화학물질이 아니고, 위험물안전관리법으로 보게 되면 위험물질로 볼 수 있다"며 "단순 노출로는 인체에 유해하지 않은 것으로 알려져 있다"고 전했다.