낸드플래시 시장 올해 40% 뛴다…"소재로 수율 높여야"

[아이뉴스24 강민경기자] 반도체 업계는 올해 낸드플래시 출하량이 지난해보다 약 40% 성장할 것으로 보고 있다.

이 가운데 공정이 10나노미터(㎚)급으로 미세해지면서, 삼성전자와 SK하이닉스 등 주요 업체들에게는 수율을 끌어올리는 게 도전과제가 됐다.

수율을 높이려면 공정 과정에서 5나노미터 이하의 결점(defect)을 찾아야 하는데, 현재 반도체 검사 장비로는 7나노미터 크기 이하의 결점을 발견하기 어렵기 때문이다.

홍완철 인테그리스코리아 사장은 30일 서울 삼성동 그랜드인터컨티넨탈호텔에서 열린 기자간담회에서 "검사장비로 발견할 수 있는 결점에는 한계가 있다"며 "고품질 재료로 수율을 높이는 게 비용을 절반으로 줄일 수 있는 기회"라고 말했다.

홍 사장은 "한 달 생산량을 10만매라고 가정하면, 하루에 3천매가 흘러가는데 검사 장비로 일일이 모니터링하기엔 지나친 시간이 소요될 수 있다"며 "예방 선행 보험이라는 개념으로 소재 오염 제어를 미리 하는 쪽으로 기술이 발전하고 있다"고 말했다.

인테그리스는 이날 반도체 입도측정기 업체 PSS(Particle Sizing Systems)를 인수했다고 밝혔다. 인수 비용은 현금 3천700만달러(약 396억원)다.

PSS는 화학적 기계적 평탄화 후공정(포스트-CMP)에서 스크래치 불량을 잡아내고 현탁액(슬러리) 마모 입자를 실시간으로 분석하는 솔루션을 보유했다. 인테그리스는 이 솔루션을 향후 삼성전자가 극자외선(EUV) 노광장비를 투입하는 공장에 공급할 예정이다.

한편, 인테그리스의 2017년 매출은 12억달러(약 1조2천800억원)다. 올해는 이보다 증가한 13억달러(약 1조4천억원)에 이를 것으로 업체는 전망했다.