주성엔지니어링은 반도체 제조용 인젝터에 대한 특허를 취득했다고 19일 공시했다.
회사측은 "이번 특허는 각각 서로 다른 기체물질을 공간적으로 구분해 독립적으로 분사하는 인젝터에 대한 것"이라며 "반도체 사업의 경쟁력이 강화될 것"이라고 기대했다.
주성엔지니어링은 반도체 제조용 인젝터에 대한 특허를 취득했다고 19일 공시했다.
회사측은 "이번 특허는 각각 서로 다른 기체물질을 공간적으로 구분해 독립적으로 분사하는 인젝터에 대한 것"이라며 "반도체 사업의 경쟁력이 강화될 것"이라고 기대했다.
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