반도체 공정용 초순수(水) 국산화 추진

[아이뉴스24 최상국 기자] 반도체 제조공정에 사용되는 초순수(Ultra pure water) 를 국산화하기 위한 기술개발사업이 민관합동으로 본격 추진된다.

14일 환경부는 한국수자원공사, 한국환경산업기술원과 함께 '고순도 공업용수 설계·시공·운영 통합 국산화 기술개발’ 사업에 착수하고, 이를 통해 반도체 사업의 필수원료인 초순수의 생산기술 국산화를 본격적으로 추진한다고 밝혔다.

초순수는 불순물(전해질, 유기물, 미생물, 생균, 미립자, 부유고형물 등)이 0에 가까운 물이다. 반도체, LCD, 태양광 패널 등 정밀산업 분야에 사용된다. 특히 나노미터 급의 초미세회로를 만드는 반도체 생산 공정에서는 전기전도도가 0에 가깝고 유기물의 농도가 0.01ppm 이하의 초고순도 세정용수가 필요하다.

하지만 그동안 우리나라는 초순수 공업용수를 일본 등 해외업체에 의존해 왔다. 특히 공정설계, 초순수 배관, 수처리 약품 등을 일본에 의존하고 있어 수출규제 등 외부환경에 매우 취약한 상황이다.

이번 '고순도 공업용수 국산화 기술개발 사업'에는 2025년 말까지 480억원(정부 출연금 300억원, 민간부담금 180억)이 투입된다. 반도체급 초순수 생산 주요공정(이온 및 유기물 제거) 국산화, 고순도 공업용수 설계 100% 국산화, 시공 60% 국산화, 운영기술 개발 등을 통해 반도체급 초순수 수질 등급을 달성한다는 목표다.

환경부는 올해부터 고순도 공업용수 생산을 위한 핵심부품인 자외선 산화장치(UV)와 용존산소 제거용 탈기막 국산화발에 착수했으며, 한국수자원공사는 2025년까지 하루에 2천400톤의 초순수를 생산하는 실증플랜트를 실제 반도체 공급업체에 설치·운영할 계획으로 현재 수요처와 협의 중이다. 초순수 생산 시설이 완료되면 반도체 설계·시공·운영 단계별로 쓰이는 초순수 공정의 최대 60%를 국산화할 것으로 기대하고 있다.

5개 세부과제 별로 공공기관들과 기업들이 참여한다. 한국수자원공사, 한국산업기술시험원, 한국물기술인증원, 한국건설기술연구원 등 4개 공공기관과 에코셋, 네오텍, 클루, 세프라텍, 한성크린텍, 진성이엔씨, 태영건설, 해성엔지니어링, 디에치테크, ㈜케에피아이엔디 등 기업들이 함께 기술개발에 나선다.

김동진 환경부 수자원정책관은 “고순도 공업용수는 비단 반도체 뿐만 아니라 제약·바이오·정밀화학 등 고부가가치 산업에서 수요가 점차 확대되고 있다. 이번 기술개발 사업이 차질없이 이행될 경우 해외 기술 의존도 탈피와 더불어 국내 수처리 업계의 해외 시장 진출 기반을 마련하는 발판이 될 것"이라고 기대했다.