ASML, EUV 내구성 테스트 입증

[양태훈기자] ASML의 극자외선(EUV) 노광장비가 뛰어난 내구성을 인정받아 주목받고 있다.

ASML은 3일 고객사를 통해 EUV노광장비인 'NXE-3300B'가 24시간 이내 약 600장의 웨이퍼를 처리할 수 있다고 발표했다.

이는 고객사가 요구했던 하루 500장 규모의 웨이퍼 처리 능력을 웃도는 것으로, ASML은 지난 7월 진행된 유사 테스트에서도 일 637장의 웨이퍼 처리능력을 인정받은 바 있다.

피터 베닝크 ASML 최고경영자(CEO)는 "EUV 노광장비의 성능향상에 대해 다시 한 번 인정받게 돼 기쁘게 생각한다"며 "보다 정확한 성능을 위해서 성능 개선 프로그램을 지속적으로 이어갈 것"이라고 말했다.