SEMI, 반도체 생산 장비 안전표준 번역본 발간

[양태훈기자] 국제반도체장비재료협회(SEMI)는 지난 2일 반도체 생산 장비 안전표준인 'SEMI S2' 한글 번역본 4건을 발간했다고 5일 발표했다.

이번 번역은 지난 1월 발간된 4건의 한글화 작업에 이른 추가 발간으로 'SEMI S6-0707E 반도체 제조장비 배출환기 가이드라인', 'SEMI S10-0215 위험성 평가 및 위험성 검토 절차 안전 가이드라인', 'SEMI S14-0309 반도체 제조 장비의 화재 위험성 평가 및 완화 안전 가이드라인', 'SEMI S21-1106E 작업자 안전 가이드라인' 등이다.

SEMI는 지난 20여 년간 반도체 장비에 필요한 환경, 보건, 안전 요건을 정의하는 26건의 안전 가이드라인을 개발해 업계에 제공하고 있다.

이는 현재 세계 반도체 제조 분야에서 유일하게 사용되고 있는 표준으로, 반도체부터 발광다이오드(LED), 디스플레이에 이르기까지 여러 산업에서 광범위하게 상용되고 있다.

SEMI 측은 "최근 몇 년 동안 반도체 사업장에서 안전사고가 적지 않게 발생하면서 업계에서 안전에 대한 적극적인 움직임이 일어나고 있다"며, "반도체 장비는 화학물질 및 전리방사선 등으로 작은 실수나 고장으로 심각한 인명사고를 유발할 수 있어 설계·제작 단계부터 엄격한 관리를 요한다"고 강조했다.