엘오티베큠, 삼성반도체에 건식진공펌프 공급 입력 2010.06.14 오후 3:23 본문 글자 크기 설정 글자크기 설정 시 다른 기사의 본문도 동일하게 적용됩니다. 반도체 제조용 기계 제조업체인 엘오티베큠은 삼성전자에 18억원 규모의 반도체 CVD공정용 건식진공펌프를 공급한다고 14일 밝혔다. /민철기자 mc0716@inews24.com 좋아요 응원수
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