서플러스글로벌, 원자층 증착·AI 장비진단 특허 3건 확보

[아이뉴스24 박지은 기자] 반도체 중고 장비 전문기업 서플러스글로벌이 원자층 증착(ALD) 공정 및 웨이퍼 이송 관련 국내 특허 3건을 등록했다고 15일 밝혔다.

이번에 등록된 특허는 △ALD 반응기용 실링시스템 및 실링 해제 방법 △ALD 밸브 모니터링 방법 및 시스템 △웨이퍼 이송기 감지장치 및 웨이퍼 로딩 시스템이다.

실링 기술은 반응기 내부 압력을 정밀 제어해 장비 재가동 과정의 리스크를 줄이고, AI 기반 밸브 모니터링 기술은 개폐 동작·압력·유량 데이터를 실시간 분석해 이상 징후를 조기에 감지한다.

웨이퍼 이송 감지 기술은 비전 센서로 정렬 상태를 실시간 파악해 재가동 장비의 생산성과 품질 안정성을 높인다.

서플러스글로벌은 용인 반도체 장비 클러스터를 거점으로 장비 평가, 공정 검증, 기술 지원 등 현장 경험을 축적해왔으며, 앞서 AI 기반 수출통제 자동화 기술(ECP AI Agent) 특허도 등록한 바 있다. 향후 확보한 기술을 식각(Etch) 등 주요 레거시 공정 장비로 확대 적용할 계획이다.

김정웅 대표는 "이번 특허 등록은 장비 거래 사업과 공정 기술 역량을 함께 강화하는 중요한 계기가 될 것"이라고 말했다.