세메스, 반도체 검사장비 '프로브 스테이션' 5000번째 출하

[아이뉴스24 권서아 기자] 반도체 장비업체 세메스가 반도체 검사장비인 '프로브 스테이션'을 누적으로 5000대 출하다.

세메스는 8일 충남 천안 본사에서 임직원과 협력사 관계자 등 약 50명이 참석한 가운데 차세대 프로브 스테이션(설비명 SEMPRO) 5000호기 출하식을 열었다고 밝혔다.

프로브 스테이션은 반도체 전기적 특성을 검사하는 EDS(Electrical Die Sorting) 공정에서 웨이퍼 상의 칩을 양품과 불량으로 선별하기 위해 사용되는 핵심 장비다. 테스터와 연결돼 각 칩의 전기적 성능을 검증하는 역할을 한다.

세메스는 2003년 첫 양산 이후 2014년 1000대, 2020년 2000대를 돌파했으며, 이후 2년마다 1000대씩 출하량을 늘리며 22년 만에 5000호기 달성에 성공했다.

기술 경쟁력도 강화되고 있다. 세메스는 HBM(고대역폭메모리) 테스트 환경에서 발생하는 발열을 제어하고, 고하중 조건에서도 접촉 정밀도를 높이는 기술을 확보했다. 이를 통해 테스트 공정의 생산성을 높이고, 고성능 반도체 대응력을 강화했다는 설명이다.

최근에는 무인 자동화 기능을 적용한 스마트팩토리형 장비로 발전시키며 생산 효율성도 끌어올리고 있다.

최병갑 세메스 팀장은 "이번 5000호기 출하는 장비 품질과 신뢰성을 인정받은 결과"라며 "AI와 HBM 등 고성능 반도체 수요 증가로 테스트 공정 난이도가 높아지는 가운데, 관련 분야에서도 경쟁력을 확보하고 있다"고 말했다.

한편 해당 장비는 2018년 세계 3대 디자인상으로 꼽히는 레드닷 디자인 어워드 산업디자인 콘셉트 부문에서 최고상인 '베스트 오브 베스트'를 수상한 바 있다.