TSMC, ASML '하이 NA EUV' 특별가 도입 예정

[아이뉴스24 김주훈 기자] 네덜란드 반도체 장비업체 ASML이 세계 최대 파운드리(반도체 수탁생산) 기업인 대만 TSMC에 최신 반도체 장비인 '하이(High) 뉴메리컬애퍼처(NA) 극자외선(EUV)'의 가격을 인하해 공급할 예정인 것으로 알려졌다.

17일 외신에 따르면, ASML이 TSMC가 곧 도입할 예정인 첨단 EUV 노광장비인 '하이 NA EUV'에 특별 할인가를 적용할 예정이라고 보도했다.

TSMC가 이달 말 이전에 북부 신주 공장에 설치 예정인 해당 장비 공급 가격을 정상 가격인 3억 5000만 유로(약 5156억원)보다 훨씬 낮게 책정한 것으로 알려졌다. 더욱이 당초 공급 예정 시기가 알려진 것보다 1분기 이상 빠른 것으로 전해졌다.

다만 ASML의 첨단 EUV 노광장비 공급 배경에 TSMC의 시험 사용에 목적이 있는 것으로 알려졌다. 또한 이번 공급가 할인이 TSMC의 A16(1.6나노 공정)을 이용한 제품의 고객사 주문 수량과 관계가 있다고 했다.

대만언론은 TSMC가 차세대 EUV 장비를 특별 할인가에 공급받게 되면서 인텔에 사실상 승리를 거둔 것이라고 평가하고 있다. 인텔은 지난 4월 미국 오리건주 연구개발(R&D) 센터에 차세대 EUV 장비를 설치했다고 밝힌 바 있다.

현재 ASML은 최첨단 반도체 양산에 필요한 EUV 노광장비를 독점 생산하는 기업이다.

노광 공정은 반도체 전(前) 공정의 하나로서 웨이퍼에 미세하고 복잡한 전자 회로를 인쇄한 과정이다. '하이 NA EUV'은 반도체 회로를 더욱 세밀하게 그릴 수 있는 ASML 차세대 장비로서 인공지능(AI) 응용프로그램과 첨단 소비재 전자제품용 칩 제조에 쓰이고 있다.