[아이뉴스24 고종민 기자] 삼성전자 텍사스 테일러 공장 건설이 막바지에 이른 가운데, 코스닥 상장사인 워트가 EUV(극자외선)·HBM(고대역폭메모리) 공정 핵심 장비인 THC(초정밀 온습도 제어 장비)를 현지 공장에 납품하는 것으로 알려졌다.
현재 워트의 주요 고객사는 삼성전자와 SK하이닉스로, 이들의 대규모 공장 건설과 투자로 워트의 지속적인 성장이 기대된다.
![사진은 삼성전자, SK하이닉스 등에 납품 중인 워트의 THC 장비다. [사진=워트]](https://image.inews24.com/v1/a6d4654eb8a465.jpg)
10일 회사와 IT업계에 따르면 반도체·디스플레이 공정 환경 제어 설비 업체 워트는 삼성전자 USA(오스틴)에 THC를 직접 납품하는 1차 벤더로 전환될 예정이다. 기존엔 2차 벤더였으나, 올해 중 반입되는 삼성전자 테일러(Taylor) 팹 납품부터 적용될 예정이다.
삼성전자 테일러 법인은 미국 텍사스주 테일러시에 짓는 파운드리 생산법인이다. 삼성은 최근 테일러시 등 미국 투자 규모를 2030년까지 450억 달러(약 61조원, 기존 170억 달러)로 늘리기로 했다. 테일러 공장은 5G(차세대통신), 고성능컴퓨팅(HPC), 인공지능(AI) 등 다양한 분야의 반도체를 생산할 계획이다. 특히 최첨단 반도체 공정인 4나노·2나노 공정 양산에 돌입할 예정이다.
워트 THC의 미국 테일러 공장 납품은 정해진 수순이었다는 평가도 나온다. 앞서 워트는 삼성전자 China(시안), SK하이닉스 China(우시)에서 THC의 직접 발주를 받고 있으며, 삼성전자 USA에는 현재까지 설비회사인 세메스사를 통해 판매하고 있다.
워트는 장비 판매 후, 사후관리를 위해 유지보수 계약을 맺고 있다. 이를 통해 고객 사이트에 서비스 품질을 유지하고 있으며 타사 대비 빠른 현장 대응이 시장점유율 확대로 이어지고 있다. 통상적인 수리 소요시간이 며칠씩 걸리는 반면 워트는 4∼6시간이며, THC 장비를 반출하지 않고 현장 수리가 가능한 것이 강점이다. 이에 워트는 반도체 공정 제어 환경 분야에서 THC 시장 점유율 1위를 차지하고 있다.
최근 제조공정 기술 고도화에 따라 공정의 환경 제어가 수율에 끼치는 영향이 커지고 있다. 워트의 THC 핵심 기술력은 냉동시스템, 가열시스템, 가습시스템을 기반으로 한다. 온도조절, 습도조절, 유해가스 정화 등이 환경제어의 필수 항목이다. 특히 포토레지스트(PR) 도포 시 용액의 점도와 스핀 유닛의 온습도·온수 조절이 중요하다. THC는 포토 공정 내 트랙설비의 부대설비로 납품된다. 트랙 설비에 대당 1대 이상씩 도입되는 것으로 알려졌다. 그동안 해외 업체 의존도가 높았으나 워트가 국산화를 통해 시장진입에 성공한 케이스다.
삼성전자가 시스템 반도체 투자(2030년까지 171조원), 텍사스 테일러 파운드리 투자, 평택공장 가동과 신규 팹 투자(P1, P2, P3, P4, P5, P6) 까지 기획하고 있어 워트의 THC 매출액은 더 늘어날 전망이다. SK하이닉스는 청주 M15X의 증설 등을 계획하고 있어 워트의 수주 기대감도 더해진 상황이다.
신규 공장이 올해를 기점으로 2025년부터 본격적인 장비 도입을 기대하는 만큼 워트의 중장기 성장이 유효하다. 특히 최근 HBM(High Bandwidth Memory) 생산 공정 내에도 트랙 설비가 필요해짐에 따라 THC장비의 더 빠른 사업영역 확장이 가능하다. EUV 등 새로운 노광 기술 발달에 따른 공정 내 환경 제어 중요성 증가도 향후 워트 장비의 수요 증가로 이어질 것으로 보인다.
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