[아이뉴스24 최상국 기자] 한국전자통신연구원(ETRI)이 150나노 질화갈륨(GaN) 반도체 파운드리 시범서비스를 시작한다고 밝혔다.
ETRI는 4일 산·학·연 관계자가 참석한 가운데 과학기술정보통신부 '통신용 화합물반도체 연구 파운드리 구축사업'으로 개발한 150나노(0.15um) 질화갈륨 마이크로파집적회로(MMIC) 설계키트(PDK) 공개발표회를 개최했다.
![ETRI 팹에서 제작된 4인치 GaN-on-SiC 웨이퍼 사진 [사진=ETRI]](https://image.inews24.com/v1/759f60813c0cf8.jpg)
질화갈륨(GaN) 반도체는 차세대 반도체 핵심 소재·소자로 기존 실리콘, 탄화규소, 갈륨비소 반도체의 한계를 극복할 수 있는 대안으로 연구되고 있다. 최근 기술 전략물자화의 대표적 기술로 최첨단 무기에도 적용될 만큼 중요성이 주목받고 있다.
그동안 국내에서는 이동통신용 300~400나노 GaN 반도체 파운드리 상용 서비스가 제공되고 있었지만 제작할 수 있는 MMIC의 동작 주파수가 X-band(~8GHz) 이하 대역으로 제한됐다. ETRI가 지원하는 150나노급 반도체는 20GHz~30GHz에서도 동작할 수 있다.
ETRI에 따르면 150나노 GaN 반도체는 전 세계에서 6개 기관에서만 파운드리 생산이 가능하다. ETRI는 지난 36년간 팹(Fab)을 운영하며 화합물반도체 관련 기술을 축적해 왔으며 이를 바탕으로 미세패턴공정, 식각 등 주요 공정에서의 노하우와 수율, 신뢰성 측면에서 세계 최고의 기술을 보유하고 있다고 밝혔다.
ETRI는 연구성과를 기반으로 K-방산 등 반도체 관련 기업을 적극적으로 지원할 예정이다. 프로세스 설계키트(PDK)를 배포하고 파운드리 시범서비스를 무료로 지원한다.
먼저 멀티프로젝트웨이퍼(MPW) 서비스를 위해 4월 중 제안서를 받아 4개 기업을 선정한 후 설계를 신청받아 하반기에 1차 파운드리 서비스를 시작한다. 2025년과 2026년에도 각 4개 기업을 선정, 3년 동안 총 12개 기업의 수요를 받아 칩 생산까지 무료로 책임지기로 했다.
방승찬 ETRI 원장은 “그동안 해외업체에 종속되어 있던 다양한 ICT 융합 애플리케이션에 적용할 수 있는 GaN 부품 공정의 자립화를 선도하게 됐다. 차세대 이동통신 및 레이다 등에 쓰이는 고출력 GaN 소자 국산화를 이룸으로써 수출 규제 대응 및 국제기술 경쟁에도 큰 도움이 될 전망"이라고 말했다.
![GaN 기반 MMIC 시범서비스 개요 [사진=ETRI]](https://image.inews24.com/v1/dd10066194ca83.jpg)
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