ASM도 입성···韓으로 몰려드는 글로벌 반도체 장비 기업

[아이뉴스24 민혜정 기자] 세계 10위권 반도체 장비 업체들이 한국에서 속속 투자 보따리를 풀고 있다. 우리나라 정부가 장비 업체 투자 유치에 적극적으로 나서고 있고, 장비 업체로서도 메모리반도체 시장을 주도하는 삼성전자, SK하이닉스와 긴밀한 협력관계를 맺을 수 있어서다. 미국의 대중 제재로 중국 시장에서 활로가 막히면서 한국에서 대안을 찾으려는 움직임이라는 관측도 나온다.

8일 업계에 따르면 네덜란드 반도체 장비 업체 ASM은 이달 말 경기 화성시 동탄에서 제조혁신센터 기공식을 연다.

ASM은 지난 2월 산업통상자원부와 1억 달러(약 1천300억원) 규모의 투자 협약을 체결했다. ASM은 원자층 증착(ALD) 장비 세계 1위 업체이다. 원자층 증착 장비는 웨이퍼에 원자 단위 깊이 산화막을 증착하는 장비다.

반도체 장비 1위 기업인 미국 어플라이드 머티어리얼즈(AMAT)도 경기도에 메모리 장비 연구·개발(R&D) 센터를 건설하기 위한 작업에 착수했다.

AMAT는 삼성전자와, SK하이닉스를 주요 고객사로 두고 있다. 매출의 17%가 한국에서 나올 정도다.

AMAT는 수원, 용인을 센터 설립 부지로 검토하고 있으며 특히 정부가 클러스터를 조성하기로 한 용인 쪽에 무게를 두는 것으로 알려졌다.

산업통상자원부와 국토교통부는 지난 3월 '국가첨단산업 육성전략'을 통해 용인에 2042년까지 300조원 규모로 첨단 시스템반도체 클러스터를 조성한다고 발표했다.

정부는 총 1천200만평(4천76만㎡) 규모 부지에 산단을 조성해 전국에 첨단산업 생산거점을 고르게 확보하고 기업 투자를 전폭적으로 지원하겠다고 밝혔다. 국가산단으로 지정되면 인허가 신속 처리와, 기반시설 구축, 세액 공제 등 전방위적 혜택이 주어진다.

업계 관계자는 "정부가 유치 의사를 적극적으로 밝히면서 해외 업체들의 국내 진출이 가속화될 것"이라며 "생산 설비까지는 모르겠지만 R&D 시설이 잇달아 들어설 가능성은 크다"고 말했다.

최근엔 미국 정부가 미국, 일본, 네덜란드 등 세계 반도체 장비 시장을 주도하는 국가들을 상대로 중국으로 장비 수출을 금지하면서 장비 업체들에게 한국 시장은 더욱 중요해졌다.

반도체 첨단 공정에 필요한 극자외선(EUV) 노광장비를 만드는 네덜란드 ASML도 한국 시장 확대에 공격적이다. ASML은 2천400억원을 투자해 경기도 화성에 신사옥과 부품 재제조시설 등을 짓고 있다.

ASML은 매출의 약 30%가 중국에서 나왔지만, 규제가 시행되면 이를 다른 지역에서 보완해야 하는 상황이다.

미국 램리서치는 지난해 4월 경기도 용인에 R&D 센터를 개소했다. 지난 2021년엔 화성에 제3공장도 설립했다.

이밖에 일본 장비 업체인 고쿠사이일렉트론, 히타치하이테크도 한국 공장과 R&D 시설을 확대할 예정이다.

업계 관계자는 "반도체 장비 업체들이 중국 사업이 큰 어려움에 직면하면서 삼성과 SK하이닉스가 있는 한국 시장에 진출에도 적극적으로 나서고 있다"며 "특히 R&D 거점 확대를 통해 한국 정부나 기업에 우호적인 태도를 보이고 있다"고 강조했다.