SK하이닉스, 이호준 부산대 교수에게 포상한 이유는

[아이뉴스24 장유미 기자] SK하이닉스가 '이온 소스 헤드 및 이를 포함하는 이온 주입 장치'를 특허로 출원한 이호준 부산대 교수에게 상을 전달했다.

SK하이닉스는 제9회 산학연구과제 우수발명 포상을 실시했다고 2일 밝혔다. 올해는 코로나19로 인해 SK하이닉스 구성원들이 수상자 학교를 직접 찾아가 상패를 전하는 방식으로 포상식을 진행했다.

최우수상은 이 교수가 받았으며 우수상은 울산과학기술원 노삼혁 교수, 장려상은 이화여대 박찬혁 교수, 연세대 노원우 교수, 성균관대 전정훈 교수가 수상했다.

최우수상을 받은 이 교수가 내놓은 특허는 고진공, 저유량에서도 고주파 플라즈마를 생성할 수 있어 기존 대비 플라즈마 효율을 향상시키고, 이온 소스 사용주기를 2배 이상 개선해 비용을 절감하는 장점이 있어 기술적으로 높은 평가를 받았다.

SK하이닉스 관계자는 "산학협력 대학교가 연구과제 수행과정에서 출원한 특허 중 우수특허를 선별해 연구자의 사기를 북돋우고 개발을 장려하기 위해 지난 2013년부터 매년 포상식을 열고 있다"고 설명했다.